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1.外觀簡潔大方,整機采用PLC控制,易于操作,性能穩定;
2.功能:通過噴灑出微小且高壓力的純凈水將切割后的晶圓清洗干凈。
3.通過更改參數自適應6、8、英寸的晶圓;
4.通過更換臺盤能適應標準8寸架(Frame);
5.出水壓力可調,范圍:2.0~11.8MPa(20 ~ 12 0 kgf/cm2);
6.主電機采用AC變頻電機,擺臂電機采用伺服電機。
7.可分開調節噴水和噴氣
8.采用彩色觸摸屏作為人機操作界面;
9.噴頭擺臂左右擺動,噴頭噴灑范圍可自動根據設定的晶圓大小調節,無需人工干預;
10.具有氣體壓力和出水壓力調節功能;
11.具有氮氣輸入接口;
12.具有“緊急停止”功能;
13.具有系統運行狀態監控和設備故障報警功能;
14.適應晶圓尺寸6、8、英寸;
15.適應框架(Frame):標準8英寸,根據最終用戶樣品設計臺盤以適應非標準的Frame;
16.電器部分采用SMC、Orientalmotor, Misumi、西門子、三菱等知名品牌產品,系統可靠;
17.清洗槽底部排水口降低,水槽內產生積水。
產品功能:
1.二流體的主要功能是氮氣加純水清洗,清洗后用氮氣甩干。
2.二流體的工作原理:?主要有清洗和甩干兩個功能、?清洗方式是氮氣加純水混合清洗,氣和水的混合比例是可以調節、?甩干是用氮氣吹干。
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