XA-QX106

產品特點：

1.外觀簡潔大方,整機采用PLC控制，易于操作，性能穩定；

2.功能：通過噴灑出微小且高壓力的純凈水將切割后的晶圓清洗干凈。

3.通過更改參數自適應6、8、英寸的晶圓；

4.通過更換臺盤能適應標準8寸架（Frame）；

5.出水壓力可調，范圍：2.0~11.8MPa（20 ~ 12 0 kgf/cm2）；

6.主電機采用AC變頻電機，擺臂電機采用伺服電機。

7.可分開調節噴水和噴氣

8.采用彩色觸摸屏作為人機操作界面；

9.噴頭擺臂左右擺動，噴頭噴灑范圍可自動根據設定的晶圓大小調節，無需人工干預；

10.具有氣體壓力和出水壓力調節功能；

11.具有氮氣輸入接口；

12.具有“緊急停止”功能；

13.具有系統運行狀態監控和設備故障報警功能；

14.適應晶圓尺寸6、8、英寸；

15.適應框架（Frame）：標準8英寸，根據最終用戶樣品設計臺盤以適應非標準的Frame；

16.電器部分采用SMC、Orientalmotor, Misumi、西門子、三菱等知名品牌產品，系統可靠；

17.清洗槽底部排水口降低，水槽內產生積水。